影响油扩散泵性能的因素

1.扩散泵油蒸气的回流扩散泵油蒸气的回流可归因于五个原因（如图4-31所示）：①泵壁表面的油膜和油滴蒸发（如图4所示）。图4-31①）），②来自喷嘴的高速油蒸气流撞击泵壁的反射（如图4-31②所示），③油膜表面上的油膜和油滴的蒸发一级喷嘴（如图4-31③所示），④喷嘴边缘的高速油蒸气流的散射（如图4-31④所示），⑤沿喷嘴表面的油迁移（爬升）室温下泵壁（如图4-31⑤所示）。 2.防止气体分子扩散在扩散泵中，低真空端的某些气体分子将始终进入高真空端，特别是氢气，氦气，氘气等较轻的气体具有较大的抗扩散。氢的反向扩散z *大，高达10 ^ -3mg / h，而氮的反向扩散小，约10 ^ -7mg / h。 3.扩散泵油的裂解分解扩散泵油分为两种：矿物油，其热稳定性和抗氧化性较差。室温下的饱和蒸气压为10 ^ -5Pa〜10 ^ -7Pa。另一种是硅油，具有良好的热稳定性和抗氧化性。室温下的饱和蒸气压为10 ^ -6Pa〜l0 ^ -8Pa。在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温，金属催化作用和油的爆炸性沸腾，高分子油被裂解为低分子碳氢化合物和轻质气体（H2，CH4，C2H6等）。这些裂化的氢和碳氢化合物的蒸气压非常高，这限制了扩散泵的极限真空。此外，机械泵油流回扩散泵，这也会产生分裂，这会影响扩散泵的真空度。 4.真空泵的清洁度如果不清洁真空泵，污染物将残留在泵中并重复循环，从而影响泵的最终真空度。